光學濾光片與鍍膜

需要增透減反技術可以聯系我們上海工廠18917106313

上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業研發生產光學儀器及其零配件的高科技企業，公司2005年成立在上海閔行零號灣創業園區，專業的光電鍍膜公司，技術背景依托中國科學院，卷柔產品主要涉及光學儀器及其零配件的研發和加工；光學透鏡、反射鏡、棱鏡，平板顯示，安防監控等光學鍍膜產品的開發和生產，為全球客戶提供上等的產品和服務。

什么是減反射（Anti-reflective)

減反射（AR，anti-reflective），就是減少反射光，反光少了，說明透過的光多了，所以減反射又叫增透。

下面的圖中，做過減反射處理的（右），只反射了2%的光，也就是說它的透過率是98%。

增透膜（Anti-reflective coating，AR）是一種表面光學鍍層，通過減少光的反射而增加透過率。在復雜的光學系統中，可以通過減少系統中的散射光來提高對比度，例如望遠鏡，這對天文學十分重要。增透膜能減少暗處雙筒望遠鏡的閃光。

很多涂層都包括折射率不同的透明的薄膜結構thin film structures with alternating layers of contrasting. 薄膜的厚度決定了其作用的反射光波長。當光線在增透膜上產生二次反射時，會和原反射光發生干涉，從而減弱反射光。而根據能量守恒，光的能量不變。當反射光減少時，透射光便增多。這就是增透膜的原理。選擇增透膜時需確定波長，如紅外線，可見光以及紫外線。

沒有鍍膜的眼鏡鏡片（上方）比鍍上增透模的眼鏡鏡片反射更多光波。特別注意到鍍膜的眼鏡鏡片的反射帶有些許顏色。

濾光片

濾光片產品主要按光譜波段、光譜特性、膜層材料、應用特點等方式分類。

光譜波段：紫外濾光片、可見濾光片、紅外濾光片；

光譜特性：帶通濾光片、截止濾光片、分光濾光片、中性密度濾光片、反射濾光片；

膜層材料：軟膜濾光片、硬膜濾光片；

硬膜濾光片不僅指薄膜硬度方面，更重要的是它的激光損傷閾值，所以它廣泛應用于激光系統當中，面軟膜濾光片則主要用于生化分析儀當中。

帶通型：選定波段的光通過，通帶以外的光截止。其光學指標主要是中心波長（CWL），半帶寬（FWHM)。分為窄帶和寬帶。比如窄帶808濾光片NBF-808。

短波通型(又叫低波通)：短于選定波長的光通過，長于該波長的光截止。比如紅外截止濾光片，IBG-650。

長波通型(又叫高波通)：長于選定波長的光通過，短于該波長的光截止 比如紅外透過濾光片，IPG-800。

濾光片鍍膜

蒸發沉積

在蒸發沉積時，真空室中的源材料受到加熱或電子束轟擊而蒸發。蒸氣冷凝在光學表面上。在蒸發期間，通過控制加熱，真空壓力，基板定位和旋轉可以制造出具有特定厚度的均勻光學鍍膜。蒸發具有相對溫和的性質，會使鍍膜變得松散或多孔。這種松散的鍍膜具有吸水性，改變了膜層的有效折射率，將導致性能降低。通過離子束輔助沉積技術可以增強蒸發鍍膜，在該過程中，離子束會對準基片表面。這增加了源材料相對光學表面的粘附性，產生更多應力，使得鍍膜更致密，更耐久。

離子束濺射（IBS）

在離子束濺射（IBS）時，高能電場可以加速離子束。這種加速度使得離子具有顯著的動能。在與源材料撞擊時，離子束會將靶材的原子“濺射”出來。這些被濺射出來的靶材離子（原子受電離區影響變為離子）也具有動能，會在與光學表面接觸時產生致密的膜。IBS是一種的，重復性強的技術。

等離子體濺射

等離子體濺射是一系列技術的總稱，例如等離子體濺射和磁控管濺射。不管是哪種技術，都包括等離子體的產生。等離子體中的離子經加速射入源材料中，撞擊松散的能量源離子，然后濺射到目標光學元件上。雖然不同類型的等離子體濺射具有其獨特的性質和優缺點，不過可以將這些技術集合在一起，因為具有共同的工作原理，差異，相比這種鍍膜技術與本文中涉及的其它鍍膜技術之間的差異小得多。

原子層沉積

與蒸發沉積不同，用于原子層沉積（ALD）的源材料不需要從固體中蒸發出來，而是直接以氣體的形式存在。盡管該技術使用的是氣體，真空室中仍然需要很高的溫度。在ALD過程中，氣相前驅體通過非重疊式的脈沖進行傳遞，且脈沖具有自限制性。這種工藝擁有獨特的化學性設計，每個脈沖只粘附一層，并且對光學件表面的幾何形狀沒有特殊要求。因此這種工藝使得可以高度的對鍍層厚度和設計進行控制，但是會降低沉積的速率。

鍍膜工藝

不同的鍍膜沉積技術，具有各自的優缺點。光學可以采用不同的鍍膜沉積技術為服務。

在很小的硅襯底上，出現了薄膜顏色的變化，有時很嚴重（多種顏色），有時兩種顏色，有顏色的梯度，什么原因啊？

顏色變化是由于薄膜厚度不均勻導致不同程度的光干涉引起的。這種不均勻是purge不充分造成的，或者是precursor通多了。應該考慮一下硅片清洗的干凈不干凈。機器沒有改動的話程序和劑量都是固定的。每次都是在相同的地方出現厚度的差異，感覺像是有一個通多了啊，tdeah這種源你們都是怎么設置的啊，比如溫度，pulse和purge時間。都是根據系統得計算的，沒有系統圖和參數，明顯已經出了可估測的范文。

ALD的一大驗收指標就是膜厚均一性（5英寸的Si上）。

首先膜厚大概有多少，再決定用什么儀器去測量膜厚（多點測量）。

ALD做的其它薄膜，也出現了局部的不均勻現象比如只有半環狀，或者一部分區域有薄膜的現象。

現代微處理器內的晶體管非常微小，晶體管中的一些關鍵薄膜層甚至只有幾個原子的厚度，光是英文句點的大小就夠容納一百萬個晶體管還綽綽有余。ALD 是使這些極細微結構越來越普遍的一種技術。

ALD 工藝直接在芯片表面堆積材料，一次沉積單層薄膜幾分之一的厚度，以盡可能生成*薄、*均勻的薄膜。工藝的自限特性以及共形沉積的相關能力，是其成為微縮與 3D 技術推動因素的基礎。自限式表面反應讓原子級沉積控制成為可能：薄膜厚度僅取決于執行的反應周期數。表面控制會使薄膜保持**的共形性和均勻厚度，這兩點是新興 3D 器件設計的必備特性。

ar玻璃

1）可見光透過率*高峰值99%可見光平均透過率超過95%，

2） 平均反射率低于4%，*低值小于0.5%

3）色彩更艷麗、對比更強使圖像色彩對比更強烈，景物更清晰。

4）抗紫外線，有效保護眼睛紫外線光譜區透過率大幅降低，可有效阻絕紫外線對眼睛之傷害

5） 耐高溫AR玻璃耐溫>500度(一般壓克力只能耐溫80度)

6）防刮耐磨性*佳AR玻璃膜層硬度與玻璃相當,大于7H，（一般PC板硬度約為2H至3H）。

7）可耐各種清潔劑清洗耐酸、堿清洗劑之擦拭，膜層不受損壞。

8）抗沖擊性強3mm厚度玻璃的沖擊性能相當于6mm壓克力。

9）保持視角一般壓克力在安裝后，視角會變小；而AR玻璃裝上后，視角不會變小。

10）外觀AR玻璃表面平整度遠遠優于鍍膜壓克力，并且尺寸越大，相差越明顯。

11）AR玻璃冷熱變形幾乎可以省略不計，適用于各類環境；同時，AR玻璃具有琉璃感，外觀更漂亮。

比超白透光率還高的ar玻璃

普通的白玻透光率一般在82-83%左右。

超白玻璃透光率一般在89-91%，個別廠家生產的超白玻璃透過率甚至可以達到92%。

AR玻璃的透不率達到了95%，甚至有的AR玻璃可見光透過率*高峰值達到了99%。

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上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業研發生產光學儀器及其零配件的高科技企業，公司2005年成立在上海閔行零號灣創業園區，專業的光電鍍膜公司，技術背景依托中國科學院，卷柔產品主要涉及光學儀器及其零配件的研發和加工；光學透鏡、反射鏡、棱鏡，平板顯示，安防監控等光學鍍膜產品的開發和生產，為全球客戶提供上等的產品和服務。

  卷柔減反射(AR)玻璃的特點:高透,膜層無色,膜硬度高,抗老化性強(耐候性強于玻璃),玻璃長期使用存放不發霉,且有一定的自潔效果.AR增透減反膜玻璃產品廣泛應用于**文博展示、低反射幕墻、廣告機玻璃、節能燈具蓋板玻璃、液晶顯示器保護玻璃等多行業。
    我們的愿景：卷柔讓光學更具價值！
    我們的使命：有光的地方就有卷柔新技術！
    我們的目標：以高質量的產品，優惠的價格,貼心的服務，為客戶提供優良的解決方案。
    上海卷柔科技以現代鍍膜技術為核心驅動力，通過鍍膜設備、鍍膜加工、光學鍍膜產品服務于客戶，努力為客戶創造新的利潤空間和競爭優勢，為中國的民族制造業的發展貢獻力量。