光學(xué)薄膜應(yīng)用及實(shí)例

光學(xué)薄膜是利用薄膜對(duì)光的作用而工作的一種功能薄膜，光學(xué)薄膜在改變光強(qiáng)方面可以實(shí)現(xiàn)分光透射、分光反射、分光吸收以及光的減反、增反、分束、高通、低通、窄帶濾波等功能。光學(xué)薄膜的種類有很多，這些薄膜賦予光學(xué)元件各種使用性能，在實(shí)現(xiàn)光學(xué)儀器的功能和影響光學(xué)儀器的質(zhì)量方面起著重要的或者決定性的作用。

傳統(tǒng)的光學(xué)薄膜是現(xiàn)代光學(xué)儀器和各種光學(xué)器件的重要組成部分，通過(guò)在各種光學(xué)材料的表面鍍制一層或多層薄膜，利用光的干涉效應(yīng)來(lái)改變透射光或反射光的光強(qiáng)、偏振狀態(tài)和相位變化。薄膜可以被鍍制在光學(xué)玻璃、塑料、光纖、晶體等各種材料表面上。它的厚度可從幾個(gè)nm 到幾十、上百個(gè)μm。光學(xué)薄膜可以得到很好的牢固性、光學(xué)穩(wěn)定性，成本又比較低，幾乎不增加材料的體積和重量，因此是改變系統(tǒng)光學(xué)參數(shù)的優(yōu)選方法，甚至可以說(shuō)沒(méi)有光學(xué)薄膜就沒(méi)有現(xiàn)代的光學(xué)儀器和各種光學(xué)器件。在兩百多年的發(fā)展過(guò)程中，光學(xué)薄膜形成了一套完整的光學(xué)理論—薄膜光學(xué)。光學(xué)薄膜已廣泛應(yīng)用于各種光學(xué)器件(如激光諧振腔、干涉濾波片、光學(xué)鏡頭等)，不僅如此它在光電領(lǐng)域中的重要作用亦逐漸為人們所認(rèn)識(shí)。

光學(xué)薄膜是TFT-LCD面板制造的關(guān)鍵材料，它們?yōu)橐壕э@示提供一個(gè)均勻，明亮且飽滿的面光源系統(tǒng)。（光行天下配圖）

1. 減反射膜

   
   

假定光線垂直入射在表面上，這時(shí)表面的反射光強(qiáng)度與入射光的強(qiáng)度比值(反射率)只決定于相鄰介質(zhì)的折射率的比值：

折射率為1.52 的冕牌玻璃每個(gè)表面的反射約為4.2%左右．折射率較高的火石玻璃則表面反射更為顯著。這種表面反射造成了兩個(gè)嚴(yán)重的后果：光能量損失使象的亮度降低；表面反射光經(jīng)過(guò)多次反射或漫射，有一部分成為雜散光，*后也到達(dá)象平面使象的襯度降低圖象質(zhì)量，特別是電視、電影攝影鏡頭等復(fù)雜系統(tǒng)都包含了很多個(gè)與空氣相鄰的表面，如不鍍上增透膜其性能就會(huì)大大降低。

應(yīng)用于可見光譜區(qū)的光學(xué)儀器非常多，就其產(chǎn)量來(lái)說(shuō)占據(jù)了減反射膜的絕大部分，幾乎在所有的光學(xué)器件上都要進(jìn)行減反處理。

單層減反膜是應(yīng)用非常廣泛的薄膜，也是*簡(jiǎn)單的膜系?？紤]垂直入射的情況，即i = 0，并令

這時(shí)基片表面反射率完全被消除。在入射介質(zhì)為空氣的情況下， n0 =1，則

在可見光區(qū)使用得*普遍的是折射率為1.52 左右的冕脾玻璃。理想的增透膜的折射率為1.23，但是至今能利用的薄膜的*低折射率是1.38( 氯化鎂)。這雖然不很理想但也得到了相當(dāng)?shù)母倪M(jìn)。當(dāng)ns=1.52，nf=1.38，n0=1.0 時(shí)，由式(3)可得*低反射率為1.3%，即鍍單層氟化鎂后中心波長(zhǎng)的反射率從4.2%降至 l.3%左右，整個(gè)可見光區(qū)平均反射率約為1.5%。顯然，愈是接近于滿足式（4）的條件的玻璃，中心波長(zhǎng)增透效果愈顯著。以可見光的中心波長(zhǎng)為550nm 設(shè)計(jì)的時(shí)候，那么對(duì)于紫光波段和紅光波段的光波長(zhǎng)，光學(xué)厚度不是四份之一波長(zhǎng)，也就偏離了反射抵消的條件，會(huì)有略高的反射。

2.分光膜

把一束光分為兩部分的器件稱為分光鏡。分光鏡的工作部分一般是一個(gè)鍍過(guò)膜的平面，它在一定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有特定的反射率和透射率。通常這個(gè)平面是傾斜的，因此入射光和反射光便分離開來(lái)。分光鏡的預(yù)定反射率和透射率值隨其用途不同而相異。

對(duì)于不同的分光鏡往往有不同的透射率和反射率比T/R，即分光比。*常用的是中性分光鏡，T/R=50/50，它把一束光分成光譜成分相同的兩束光。因?yàn)樗谀巢ㄩL(zhǎng)區(qū)域內(nèi)對(duì)各波長(zhǎng)具有相同的透射率和反射率比，因而反射光和透射光不帶有顏色，呈中性。常用的中性分光鏡有兩種結(jié)構(gòu)：一種是在透明的平板基片上鍍上分光膜，另一種是把膜層鍍?cè)趦蓚€(gè)直角棱鏡上，再膜面對(duì)膜面地膠合成立方體。常用的有金屬分光鏡和介質(zhì)分光鏡兩類。金屬膜分光鏡分光的光譜寬度較寬，缺點(diǎn)是吸收損失較大，分光效率較低，介質(zhì)分光鏡的特點(diǎn)是分光效率高，偏振效應(yīng)明顯，分光特性色散明顯。介質(zhì)膜分光鏡與金屬膜分光鏡相比，因?yàn)榻橘|(zhì)膜的吸收小到可以忽略的程度，所以分光效率高，這是介質(zhì)分光鏡的優(yōu)點(diǎn)，但是介質(zhì)膜的特性對(duì)波長(zhǎng)較敏感，給中性分光帶來(lái)困難。同時(shí)，一般介質(zhì)膜分光鏡的偏振效應(yīng)較大，這也是它的不足之處。

3.反射膜

反射膜是用于把入射光能量大部分或幾乎全部反射的光學(xué)元件。在有些光學(xué)系統(tǒng)中，要求光學(xué)元件具有較高的反射本領(lǐng)，例如，激光器的反射鏡要求對(duì)某種頻率的單色光的反射率在90％以上。為了增強(qiáng)反射能量，常在玻璃表面鍍一層高反射率的透明薄膜，利用其上下表面反射光的光程差滿足干涉相長(zhǎng)的條件，使反射光增強(qiáng)。

金屬膜有很高的反射率，吸收率也較高，而介質(zhì)膜的不但反射率可以較高，還有較小的吸收率。

鋁是唯壹從紫外到紅外(0.2～30μm)具有很高反射率的材料。大約在波長(zhǎng)0.85μm 處反射率出現(xiàn)一極小值，其值為86%。鋁膜對(duì)基板的附著力比較強(qiáng)、機(jī)械強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性也比較好，所以廣泛用作反射膜。新沉積的鋁膜暴露于常溫大氣后，表面立即形成一層非晶的高透明的Al2O3 膜，短時(shí)間內(nèi)氧化物迅速生長(zhǎng)到15～20.，然后緩慢生長(zhǎng)，一個(gè)月后達(dá)到50 左右。對(duì)緩慢蒸發(fā)的鋁膜，氧化物的厚度可以達(dá)到90. 以上。氧化物的存在使鋁膜的反射率下降，特別是波長(zhǎng)小于200nm 的區(qū)域，為此要用MgF2膜作保護(hù)層。在可見光區(qū)，通常用SiO 作為初始材料，蒸發(fā)得到硅的氧化物薄膜作為Al 膜的保護(hù)膜。*佳的制備鋁膜的條件：高純鋁(99.99%)；高真空中快速蒸發(fā)(50～100nm/s)；基板溫度低于50℃。

在可見光及紅外波段內(nèi)，銀膜的反射率是所有已知材料中*高的。在可見光區(qū)和紅外區(qū)，反射率分別達(dá)到95%和99%左右。但是，銀膜的附著力差，機(jī)械強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性差，所以主要用于短期使用的零件。銀膜在紫外區(qū)的反射率很低，在波長(zhǎng)400nm 開始下降，到320nm 附近降到4%左右。當(dāng)銀膜暴露于空氣中時(shí)反射率會(huì)逐漸降低，主要原因是表面形成的氧化銀(AgO、Ag2O3)和硫化銀，因此要在銀膜上鍍保護(hù)膜。*佳的制備工藝與鋁的相似，即高真空、快速蒸發(fā)、低的基板溫度。

降低薄膜反射率的一個(gè)重要因素是散射。造成散射損耗的原因是多種多樣的，薄膜的成核和生長(zhǎng)機(jī)理引起膜層微觀結(jié)構(gòu)的不均勻，從而會(huì)產(chǎn)生散射，借助于電子顯微鏡觀察多層膜斷面的微觀結(jié)構(gòu)，其呈現(xiàn)非常明顯的柱狀，膜層內(nèi)部充滿空隙，而面變得凹凸不平。此外，基片表面的粗糙度及其缺陷，還有蒸發(fā)源噴濺的粒子、膜層中的微塵、裂紋和針孔等因素相互交叉構(gòu)成復(fù)雜的散射模型。總的來(lái)說(shuō)我們可以把散射歸結(jié)為二類，即體積散射和表面散射。

4.干涉截止濾光片

要求某一波長(zhǎng)范圍的光束高透射，而偏離這一波長(zhǎng)的光束驟然變化為高反射(或稱抑制)的干涉截止濾光片有著廣泛的應(yīng)用。我們把抑制短波區(qū)、透射長(zhǎng)波區(qū)的濾光片稱為長(zhǎng)波通濾光片。相反，抑制長(zhǎng)波區(qū)、透射短波區(qū)的截止濾光片就稱為短波通濾光片。

大多數(shù)情況下，是希望截止短于某一特定波長(zhǎng)，或者長(zhǎng)于該波長(zhǎng)的所有光線。通常的辦法是使干涉濾光片同吸收濾光片相組合。它既可以用作截止長(zhǎng)波的短波通濾光片，也可以用作截止短波的長(zhǎng)波通濾光片。只要改變監(jiān)控膜層厚度的波長(zhǎng)，截止限的位置可以隨意移動(dòng)。